10月16日，由深圳市微纳制造产业促进会（简称“促进会”）主办的第六届中德（欧）合作创新——微纳光学制造论坛于2025湾芯展展会期间举办。论坛汇聚了中国、德国、中德（欧）合作类微纳制造技术生态内企业代表。按照惯例，促进会会员大会与论坛同期举办，此次会员大会颁发了“2024-2025年度（首届）微纳制造产业突出贡献奖”、举办了微纳制造加速营暨第五期天使母基金机器人产业加速营启动式。

六年来，该论坛顺应国际形势变化，渐已成为聚焦微纳制造领域的中德（欧）合作创新实施路径探索的高质量研讨会。众多微纳制造技术企业及专家，产学研机构、投资机构、产业服务机构参会。

随着半导体产业向“更小、更快、更集成”方向发展，微纳光学制造技术正成为推动芯片制程微缩、AR光波导、光子芯片等关键领域突破的核心技术力量。本届论坛议题聚焦于微纳制造的中德（欧）合作创新成果，赋能半导体技术创新。

促进会副秘书长姚磊主持了协会工作汇报及表彰大会，首先由促进会会长王大伟做微纳制造赋能百业暨2025年促进会工作汇报。

多年来，促进会深耕微纳制造企业技术生态集群调研，持续探索 “微纳制造赋能百业” 的会员服务模式。报告中，促进会会长王大伟结合 2025 年赋能文化出版、先进陶瓷、半导体的行动计划具体内容，拆解微纳制造赋能百业的实施路径，同步汇报推进进度。通过实践案例分享与实施方法拆解，清晰呈现促进会如何依托独特技术生态共建模式，激活各专委会效能，为会员提供精准化服务。

促进会副秘书长张汉南聚焦线上平台【微纳视界】，解读《微纳制造综合服务平台的价值》，详解多个服务中台的建设初衷与运营进展，官宣欧洲办事处设立，并重点阐述平台近一年在推动微纳制造技术产业化中的枢纽作用与落地方法。该平台针对性破解技术生态主体协同创新的三大核心挑战，引发现场踊跃注册。

本届论坛，促进会设置了“首届微纳制造产业突出贡献奖”系列评选，涵盖专家贡献奖、优秀会员奖、卓越会员奖、突出贡献奖四大类别。（获奖名单/获奖理由）

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突出贡献奖获奖代表苏州博众仪器科技有限公司总经理唐爱权、卓越会员奖代表烟台魔技纳米科技有限公司总经理史强分别就企业在电子束技术与微纳3D打印技术的产业化进程作了专题报告。博众仪器现已突破200千伏电压的技术壁垒，魔技纳米已实现50纳米三维单点加工精度，分别展示了中国企业在微纳制造领域的协同创新能力。

▲  苏州博众仪器科技有限公司总经理唐爱权

▲  烟台魔技纳米科技有限公司总经理史强

微纳制造加速营启动，助力微纳制造技术商业化

论坛期间，“微纳制造加速营” 正式启动，微纳制造加速营包含孵化空间、评估中台、成长基金（筹）、产业加速四阶段赋能服务，就产业加速服务板块，现场开启了第五届深天使智能机器人产业加速营招募。这是深圳市微纳制造产业促进会与深圳市天使母基金携手推动技术生态与产业生态融合的大胆尝试，携手服务优秀微纳制造企业家快速融入深圳、粤港澳乃至全国的硬科技相关的政产学研资用生态。

▲  启动嘉宾（从左至右）：何军、杨富华、邹小璐、王大伟、吴向方

深圳天使母基金董事总经理邹小璐在随后的分享中，重点剖析了大湾区天使投资的发展现状与未来趋势，母基金在硬科技领域的投资担当与成效，从耐心资本视角，为硬科技型中小企业提供了宝贵的融资建议。

核心技术企业代表演讲，勾勒微纳制造新图景

在主题演讲环节，多位企业技术负责人围绕晶圆级光学、真空镀膜、离子束装备、直写光刻、纳米压印等关键技术及其商业化展开分享。

炬光科技(SH688167) 孙李辰介绍了炬光科技在晶圆级微纳光学领域的核心技术，涵盖WLO（晶圆级光学精密压印技术）、WLS（晶圆级堆叠工艺）和WLI（晶圆级模组集成），以及晶圆级微纳光学器件与模组应用案例。

派镀科技 宁德以全球视角深入解析了真空镀膜的工艺分类及详细的性能对比，系统展示了镀膜材料、工艺、设备在半导体制造中的工艺挑战与应用前景。

博顿光电 易洪波展示了全国产离子束装备在微纳光学和半导体产业中的突破进展及其成长历程，给其他微纳制造企业技术产业化路径的规划，提供了宝贵经验。

芯碁微装(SH688630)陈伟龙介绍了直写光刻技术在微纳器件研发中的灵活优势，展示了作为国产化微纳制造类科创板上市公司的技术战略实施历程。

璞璘科技 罡喆婧则展示了公司半导体级纳米压印光刻技术设备及材料+工艺研发的独特优势，介绍了应用在半导体领域的首台套设备交付进展。

演讲嘉宾们从技术突破、国产化、向海外标杆的对标与合作等多维度，勾勒出微纳制造在半导体、光学、传感等领域的广泛应用生态。

参会嘉宾们围绕技术合作、市场对接、国际资源整合深入互动，现场氛围热烈。

本届论坛不仅是一次例行的会员间交流会、研讨会，更是中德（欧）在微纳制造领域探索合作路径的又一次方法演进。随着中外更多企业与机构加入微纳制造技术生态的共建，我们在半导体等各应用产业领域，有望实现国产自主创新与对外开放创新的协同发展，促进全球的科技产业进步。