邀请函 | 中微公司邀您相聚湾区半导体产业生态博览会(湾芯展SEMiBAY)
首届“湾芯展SEMiBAY”——湾区半导体产业生态博览会,将于今年10月16日至18日盛大开幕。此次盛会已吸引了包括中微公司、阿斯麦、应用材料、泛林、TEL、KLA、爱德万测试、蔡司、迪恩士、默克、北方华创、至纯科技、盛美上海、华海清科、拓荆科技等国内外半导体厂商参展,顶级天团引领行业发展新潮流!
作为重要参展企业之一,中微公司将在湾芯展上展出一系列重磅产品。中微公司工艺总监(碳化硅)廖宸梓博士将在国际化合物半导体产业发展论坛上做主题演讲。
中微公司
展位号:1F01
中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)成立于2004年,是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司,致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。
中微公司基于在半导体装备产业多年耕耘积累的专业技术,跨足半导体芯片前端制造、先进封装、发光二极管生产、MEMS制造以及其他围观制程的高端设备领域,瞄准世界科技前沿,坚持自主创新,服务遍布中国大陆和台湾、新加坡、韩国、意大利等国家和地区的客户。
中微公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备,可加工微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础,它们正在改变人类的生产方式和生活方式。
中微公司的等离子体刻蚀设备已批量应用在国内外一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及更先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。中微公司的薄膜沉积设备已付运客户端验证评估,并如期完成多道工艺验证,目前更多应用正在验证当中,部分产品已收到客户重复订单。中微公司MOCVD设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产,该公司已成为世界排名前列的氮化镓基LED设备制造商。
在集成电路产业飞速发展的浪潮中,中微公司以高端半导体设备为核心,坚持技术的创新、 产品的差异化和知识产权的保护,不断开发具有市场竞争力的设备;同时,中微公司将整合产业链上下游和相关资源作为另一发力点,积极考虑投资和并购,推动公司更快发展。预计未来五到十年,中微公司将通过自主研发以及携手行业合作伙伴,覆盖集成电路关键领域50%至60%的设备。
中微公司参与的同期活动
国际化合物半导体产业发展论坛
演讲题目
中微公司PRISMO PDS8外延系统于碳化硅功率器件之应用
演讲嘉宾
廖宸梓
中微公司工艺总监(碳化硅)
廖宸梓,逢甲大学材料科学博士,从事化合物半导体行业资历15年, 于工研院历任氮化镓外研开发工程师,资深工程师及计划主持人, 在汉磊公司担任碳化硅技术开发部资深副理, 主要从事碳化硅材料外延开发及生产, 目前任职中微公司MOCVD事业部碳化硅工艺总监。
演讲简介/亮点
中微公司PRISMO PDS8碳化硅外延系统简介/亮点
-
Cluster system for max 4 chambers -
1” or 16” for each reactor
-
Module based temperature control
-
C to C wafer transfer with EFEM
-
Hot wafer loading and unloading with pre-bake station
-
Auto lid open system
-
8-inch n-SiC epitaxy using N2 or NH3 dopant
-
Good surface morphology & killer defect density
-
Excellent thickness & doping uniformity